為研究表面粗糙度對(duì)零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，德國(guó)、美國(guó)和英國(guó)等國(guó)的一些專家設(shè)計(jì)制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，同時(shí)也產(chǎn)生出了光切式顯微鏡和干涉顯微鏡等用光學(xué)方法來(lái)測(cè)量表面微觀不平度的儀器，給從數(shù)值上定量評(píng)定表面粗糙度創(chuàng)造了條件。

        從30年代起，已對(duì)表面粗糙度定量評(píng)定參數(shù)進(jìn)行了研究，如美國(guó)的Abbott就提出了用距表面輪廓峰頂?shù)纳疃群椭С虚L(zhǎng)度率曲線來(lái)表征表面粗糙度。1936年出版Schmaltz論述表面粗糙度的專著，對(duì)表面粗糙度的評(píng)定參數(shù)和數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)化提出了建議。但粗糙度評(píng)定參數(shù)及其數(shù)值的使用，真正成為一個(gè)被廣泛接受的標(biāo)準(zhǔn)還是從40年代各國(guó)相應(yīng)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布以后開始的。 

        首先是美國(guó)在1940年發(fā)布了ASA B46.1國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，之后又經(jīng)過(guò)幾次修訂，成為現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ASME B46.1-1988《表面結(jié)構(gòu)表面粗糙度、表面波紋度和加工紋理》，該標(biāo)準(zhǔn)采用中線制，并將Ra作為主參數(shù)；接著前蘇聯(lián)在1945年發(fā)布了GOCT2789-1945《表面光潔度、表面微觀幾何形狀、分級(jí)和表示法》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，而后經(jīng)過(guò)了3次修訂成為GOCT2789-1973《表面粗糙度參數(shù)和特征》，該標(biāo)準(zhǔn)也采用中線制，并規(guī)定了包括輪廓均方根偏差（即現(xiàn)在的Rq）在內(nèi)的6個(gè)評(píng)定參數(shù)及其相應(yīng)的參數(shù)值。另外，其它工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家的標(biāo)準(zhǔn)大多是在50年代制定的，如聯(lián)邦德國(guó)在1952年2月發(fā)布了DIN4760和DIN4762有關(guān)表面粗糙度的評(píng)定參數(shù)和術(shù)語(yǔ)等方面的標(biāo)準(zhǔn)等。 

        以上各國(guó)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)中都采用了中線制作為表面粗糙度參數(shù)的計(jì)算制，具體參數(shù)千差萬(wàn)別，但其定義的主要參數(shù)依然是Ra（或Rq），這也是間交流使用zui廣泛的一個(gè)參數(shù)。

表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)中的基本參數(shù)定義

        隨著工業(yè)的發(fā)展和對(duì)外開放與技術(shù)合作的需要，我國(guó)對(duì)表面粗糙度的研究和標(biāo)準(zhǔn)化愈來(lái)愈被科技和工業(yè)界所重視，為迅速改變國(guó)內(nèi)表面粗糙度方面的術(shù)語(yǔ)和概念不統(tǒng)一的局面，并達(dá)到與統(tǒng)一的作用，我國(guó)等效采用標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）有關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)制訂了GB3505-1983《表面粗糙度術(shù)語(yǔ)表面及其參數(shù)》。
       
         GB3505專門對(duì)有關(guān)表面粗糙度的表面及其參數(shù)等術(shù)語(yǔ)作了規(guī)定，其中有三個(gè)部分共27個(gè)參數(shù)術(shù)語(yǔ)： 與微觀不平度高度特性有關(guān)的表面粗糙度參數(shù)術(shù)語(yǔ)。其中定義的常用術(shù)語(yǔ)為：輪廓算術(shù)平均偏差Ra、輪廓均方根偏差Rq、輪廓zui大高度Ry和微觀不平度十點(diǎn)高度Rz等11個(gè)參數(shù)。

        與微觀不平度間距特性有關(guān)的表面粗糙度參數(shù)術(shù)語(yǔ)。其中有輪廓微觀不平度的平均間距Sm、輪廓峰密度D、輪廓均方根波長(zhǎng)lq以及輪廓的單峰平均間距S等共9個(gè)參數(shù)。
 與微觀不平度形狀特性有關(guān)的表面粗糙度參數(shù)術(shù)語(yǔ)。這其中有輪廓偏斜度Sk、輪廓均方根斜率Dq和輪廓支承長(zhǎng)度率tp等共5 個(gè)參數(shù)。

精密加工表面性能評(píng)價(jià)的內(nèi)容及其迫切性

        表面粗糙度參數(shù)這一概念開始提出時(shí)就是為了研究零件表面和其性能之間的關(guān)系，實(shí)現(xiàn)對(duì)表面形貌準(zhǔn)確的量化的描述。隨著加工精度要求的提高以及對(duì)具有特殊功能零件表面的加工需求，提出了表面粗糙度評(píng)價(jià)參數(shù)的定量計(jì)算方法和數(shù)值規(guī)定，同時(shí)這也推動(dòng)了國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及標(biāo)準(zhǔn)的形成和發(fā)展。

        在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中，許多制件的表面被加工而具有特定的技術(shù)性能特征，諸如：制件表面的耐磨性、密封性、配合性質(zhì)、傳熱性、導(dǎo)電性以及對(duì)光線和聲波的反射性，液體和氣體在壁面的流動(dòng)性、腐蝕性，薄膜、集成電路元件以及人造器官的表面性能，測(cè)量?jī)x器和機(jī)床的精度、可靠性、振動(dòng)和噪聲等等功能，而這些技術(shù)性能的評(píng)價(jià)常常依賴于制件表面特征的狀況，也就是與表面的幾何結(jié)構(gòu)特征有密切。

        因此，控制加工表面質(zhì)量的核心問題在于它的使用功能，應(yīng)該根據(jù)各類制件自身的特點(diǎn)規(guī)定能滿足其使用要求的表面特征參量。不難看出，對(duì)特定的加工表面，我們總希望用zui（或比較）恰當(dāng)?shù)谋砻嫣卣鲄?shù)去評(píng)價(jià)它，以期達(dá)到預(yù)期的功能要求；同時(shí)我們希望參數(shù)本身應(yīng)該穩(wěn)定，能夠反映表面本質(zhì)的特征，不受評(píng)定基準(zhǔn)及儀器分辨率的影響，減少因?qū)﹄S機(jī)過(guò)程進(jìn)行測(cè)量而帶來(lái)參數(shù)示值誤差。 

        但是從標(biāo)準(zhǔn)制定的特點(diǎn)和內(nèi)容上我們?nèi)菀装l(fā)現(xiàn)，隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，特別是新型表面加工方法不斷出現(xiàn)和新的測(cè)量器具及測(cè)量方法的應(yīng)用，標(biāo)準(zhǔn)中的許多參數(shù)已無(wú)法適應(yīng)現(xiàn)代生產(chǎn)的需求，尤其是在一些特殊加工場(chǎng)合，如精加工時(shí)，用不同方法加工得到的Ra值相同（或很相近）的表面就不一定會(huì)具有相同的使用功能，可見，此時(shí)Ra值對(duì)這類表面的評(píng)定顯得無(wú)能為力了，而且傳統(tǒng)評(píng)定方法過(guò)于注重對(duì)高度信息做平均化處理，而幾乎忽視水平方向的屬性，未能反映表面形貌的全面信息。

        近年來(lái)在表面特性研究的領(lǐng)域內(nèi)，相對(duì)地說(shuō)，關(guān)于零件表面功能特性方面的研究本身就較為薄弱，因?yàn)樗鼱可娴胶芏鄬W(xué)科和技術(shù)領(lǐng)域。機(jī)器的各類零件在使用中各有不同的要求，研究表面特征的功能適應(yīng)性將十分復(fù)雜，這也限制了對(duì)表面形貌與其功能特性關(guān)系的研究。工業(yè)生產(chǎn)的飛速發(fā)展迫切需要更加行之有效且適應(yīng)性更強(qiáng)的表面特征評(píng)價(jià)參數(shù)的出現(xiàn)，為解決這一矛盾，各國(guó)的許多學(xué)者都在這方面加大研究力度，以期在不遠(yuǎn)的將來(lái)制訂出一套功能特性顯著的參數(shù)。另一方面，為了防止“參數(shù)爆炸”，同時(shí)也防止大量相關(guān)參數(shù)的出現(xiàn)，要做到用一個(gè)參數(shù)來(lái)評(píng)價(jià)多個(gè)性能特性，用數(shù)量很少的一組參數(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)表面的本質(zhì)特征的準(zhǔn)確描述。 

表面粗糙度理論的新進(jìn)展

        表面形貌評(píng)定的核心在于特征信號(hào)的無(wú)失真提取和對(duì)使用性能的量化評(píng)定，國(guó)內(nèi)外學(xué)者在這一方面做了大量工作，提出了許多分離與重構(gòu)方法。隨著當(dāng)今微機(jī)處理技術(shù)、集成電路技術(shù)、機(jī)電一體化技術(shù)等的發(fā)展，出現(xiàn)了用分形法、Motif法、功能參數(shù)集法、時(shí)間序列技術(shù)分析法、zui小二乘多項(xiàng)式擬合法、濾波法等各種評(píng)定理論與方法，取得了顯著進(jìn)展.